製品情報

STシリーズ（TG-Fシリーズ＋油回転真空ポンプ）

■高真空排気システム

■簡単操作で高真空まで排気

■キャスター付で、移動が簡単！

■外乱に強く、ポンプ運転中の移動が可能！

■必要に応じてオプション機器の取付が可能

仕様

型　式		ST050F*050	ST220F*050	ST350F*050
ターボ分子ポンプ機種		TG50F	TG220F	TG350F
排気速度（N₂；L/s）		51(49)^※1	220(210)^※1	350(330)^※1
到達圧力	(Pa)	<3×10^-6	<1×10^-6
	(Torr)	<2.3×10^-8	<7.5×10^-9
吸気口フランジ		VG65/ISO-R63/CF63	VG100/ISO-R100/CF100
補助ポンプ		ロータリーポンプ 50/60 L/min　（50/60Hz）
冷却方式		空冷
電源		単相、AC100V
標準機器構成		ターボ分子ポンプ本体ロータリーポンプ TMPコントローラ STコントローラ自動スローリーク弁真空配管オイルミストトラップアルミフレーム架台

※1：（　）内は保護金網付の排気速度です。
標準仕様以外にも、お客様のニーズに合わせた排気ユニットを製作することができます。詳しくは当社営業担当者までお問合せ下さい。

外観寸法図