製品情報

STシリーズ(TG-Fシリーズ+油回転真空ポンプ)

  • STシリーズ(TG-Fシリーズ+油回転真空ポンプ)

■高真空排気システム

■簡単操作で高真空まで排気

■キャスター付で、移動が簡単!

■外乱に強く、ポンプ運転中の移動が可能!

■必要に応じてオプション機器の取付が可能

仕様

型 式 ST050F*050 ST220F*050 ST350F*050
ターボ分子ポンプ機種 TG50F TG220F TG350F
排気速度(N2;L/s) 51(49)※1 220(210)※1 350(330)※1
到達圧力   (Pa)  <3×10-6 <1×10-6
 (Torr)  <2.3×10-8 <7.5×10-9
吸気口フランジ VG65/ISO-R63/CF63 VG100/ISO-R100/CF100
補助ポンプ ロータリーポンプ
50/60 L/min (50/60Hz)
冷却方式 空冷
電源 単相、AC100V
標準機器構成
  • ターボ分子ポンプ本体
  • ロータリーポンプ
  • TMPコントローラ
  • STコントローラ
  • 自動スローリーク弁
  • 真空配管
  • オイルミストトラップ
  • アルミフレーム架台

※1:( )内は保護金網付の排気速度です。
標準仕様以外にも、お客様のニーズに合わせた排気ユニットを製作することができます。 詳しくは当社営業担当者までお問合せ下さい。

外観寸法図

外観寸法図


機 種 A B C
ST050FV050 VG65 486 155
ST050FR050 ISO-R63 507 155
ST050FC050 CF63 521 155
ST220FV050 VG100 539 175
ST220FR050 ISO-R100 539 175
ST220FC050 CF100 559 175
ST350FV050 VG100 569 175
ST350FR050 ISO-R100 553 175
ST350FC050 CF100 569 175

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