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STシリーズ(TG-Fシリーズ+油回転真空ポンプ)
■高真空排気システム
■簡単操作で高真空まで排気
■キャスター付で、移動が簡単!
■外乱に強く、ポンプ運転中の移動が可能!
■必要に応じてオプション機器の取付が可能
仕様
型 式 | ST050F*050 | ST220F*050 | ST350F*050 | |
ターボ分子ポンプ機種 | TG50F | TG220F | TG350F | |
排気速度(N2;L/s) | 51(49)※1 | 220(210)※1 | 350(330)※1 | |
到達圧力 | (Pa) | <3×10-6 | <1×10-6 | |
(Torr) | <2.3×10-8 | <7.5×10-9 | ||
吸気口フランジ | VG65/ISO-R63/CF63 | VG100/ISO-R100/CF100 | ||
補助ポンプ | ロータリーポンプ 50/60 L/min (50/60Hz) |
|||
冷却方式 | 空冷 | |||
電源 | 単相、AC100V | |||
標準機器構成 |
|
※1:( )内は保護金網付の排気速度です。
標準仕様以外にも、お客様のニーズに合わせた排気ユニットを製作することができます。 詳しくは当社営業担当者までお問合せ下さい。
外観寸法図
機 種 | A | B | C |
ST050FV050 | VG65 | 486 | 155 |
ST050FR050 | ISO-R63 | 507 | 155 |
ST050FC050 | CF63 | 521 | 155 |
ST220FV050 | VG100 | 539 | 175 |
ST220FR050 | ISO-R100 | 539 | 175 |
ST220FC050 | CF100 | 559 | 175 |
ST350FV050 | VG100 | 569 | 175 |
ST350FR050 | ISO-R100 | 553 | 175 |
ST350FC050 | CF100 | 569 | 175 |
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