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R6002

■回転軸が強い

　→低真空起動、低真空連続運転可能

■負荷条件に合ったモータの選択が可能

　→設備費削減、効率的な運転により省コスト化

■幅広い排気速度のポンプをラインアップ

　→90～12000ｍ³/ｈまで対応

■補助ポンプとの組み合わせが多種多様

　→ルーツ＋油回転・液封式

■ベルト駆動で大排気速度

■大容量チャンバーの排気に最適

■逃し弁（オプション）により吸入圧力の高い領域でも最大限に排気能力を発揮

■プロセスに合わせて最適な組み合わせを提案

用途

・半導体、FPD

・薄膜コーティング

・金属、鉄鋼、産業機器

・医療、化学、医薬品、食品

・研究開発

仕様

※1：実効排気速度は補助ポンプにより変わります。詳しくは当社営業担当までお問い合わせ下さい。
※2：冷却水温度は最高30℃を目安にしてください。
許容周囲温度：運転時は+10℃～+40℃、保管時は-5℃～+60℃。
凍結防止のため保管時には水を抜いておいて下さい。

外観寸法図