製品情報

TG2410F

  • TG2410F

 ■大流量排気

 

 ■取付姿勢自在

 

 ■急速起動

 

 ■大気突入に強い構造

 

 ■軸受部へのダスト侵入を大幅に低減

 

 ■高真空:対応マルチ設定

 

 ■大流量:対応マルチ設定

 

 ■安全規格適合 NRTL/SEMI-S2/CE

用途

・半導体製造

電子銃排気、イオン源排気

FPD製造

表面処理、表面改質

各種電子部品製造

分析、試験装置

管球製造、光学部品製造

加速器、放射線施設、核融合研究

熱処理

研究開発

※腐食性ガスなどを排気する場合は、ケミカル対応のTG-M、TGシリーズをお選びください。


仕様

型式
TG2410F
TG2410F-40*
コントローラ型式
TC2413
TC2414
TC2415
吸気口フランジ 
VG250
ISO-B250
排気速度
N2 (L/s)
2200
2000
N2(保護金網付) (L/s)
2000
1800
H2 (L/s)
1700
1250
最大圧縮比 
N2
1×108
9×107
H2
9000
2000
到達圧力 
(Pa/Torr)
<5×10-7/<3.8×10-9
最大ガス流量※1※2
(sccm)
1800
2500
3500
起動時間
(min) 
5-7
停止時間
(min) 
46-51
43-45
許容補助圧力
(Pa/Torr)
350/2.6
270/2.0
推奨補助ポンプ
(L/min)
≧1000
取付姿勢
自在
質量
水冷・空冷(kg) 
51/51
-/52(水冷のみ)
  • ※1:コントローラの型式で仕様が異なります。詳しくは営業担当者までお問い合せ下さい。
  • ※2:補助ポンプを2000L/minとした場合の許容最大流量
  • [ 使用周囲温度 ]
  • 空冷の場合は10℃から32℃、水冷の場合は10℃から40℃。許容冷却水温は10℃から35℃です。
  • [ 対応ガス種 ]
  • 吸引ガス種によっては、軸受潤滑グリースや内部部品を劣化させる場合があります。対応ガス種は当社にお問い合わせ下さい。

外観寸法図

外観寸法図


VG250 φ350 16 363
ISO-B250 φ335 16 363
  • ●吸気口フランジボルト穴は中心線振分。
  • ※無断転載はご遠慮下さい。掲載内容は通告無しに変更する場合があります。

性能曲線

性能曲線
性能曲線
  • ※無断転載はご遠慮下さい。掲載内容は通告無しに変更する場合があります。

コントローラ

コントローラ


コントローラ


コントローラ型式 TC2413 TC2414 TC2415
入力電圧(ACV) 200-230 (±10%)
入力周波数(Hz) 50/60
入力相数 単相
最大所要電力(kVA) 1.4 1.2
出力周波数(Hz) 520 450
質量(kg) 8.2
標準付属品 ・入力コネクタ:1個
・リモートコネクタ:1個
・シリアル通信コネクタ:1個
・フェライトコア:1個
・パワーサプライ取扱説明書:1部
・シリアル通信取扱説明書:1部
  • ※外観及び寸法は全て同じです。
  • ※コントローラ内部設定を変更し出荷します。
  • 設定によりポンプの性能が異なります。(詳しくは営業担当者までお問合せ下さい。)