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DSP50/DSP250/DSP500

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■ 排気速度

 50L/min、230L/min、500L/minの3製品をラインアップ

■ 到達圧力

 DSP50:20Pa、DSP250 ⁄ 500:0.5Pa

■ クリーン排気

 油蒸気やパーティクルの逆流がない

■ オイルフリー

 同期ギアをなくし、潤滑油を使用しない設計

■ ポータブルタイプ

 小型、軽量、外乱に強い

■ 空冷仕様

 冷却水が不要で有利な設置条件

■ 高速ポンプダウン

 高圧(大気圧付近)領域で大排気を実現

■ 省エネルギー

 低消費電力設計

用途

・SEM、リソグラフィ
・医療装置
・ロードロック/搬送室排気
・分析機器
・加速器、イオン源、電子銃排気
・一般産業
・PVD
・R&D


仕様

型 式 DSP50 DSP250 DSP500
排気速度
(L/min)
最大 50 230 500
開放運転時 36 200 430
試験到達圧力
(Pa)
最大 20 0.5
ガスバラスト時 200 2.0
接続形式 吸気口 KF16 KF25 KF40
排気口 Rc1 KF25
消費電力
(W)
到達圧力時 230 240 270
最大 380 600
電源 電圧(V) 100-240 100-230
周波数(Hz) 50/60
相数 単相
許容電圧変動 ±10%
冷却方式 空冷
質量(kg) 9 15 20

外観寸法図

外観寸法図


  • ※無断転載はご遠慮下さい。掲載内容は通告無しに変更する場合があります。

性能曲線

性能曲線
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