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イベント情報

イベント情報SEMICON WEST 2022 出展報告

※展示会は終了致しました。ご来場して頂いた皆様、誠にありがとうございました。

 

アメリカ・カリフォルニア州サンフランシスコにて開催される「SEMICON WEST 2022」に出展いたします。

 

当展示会では、半導体製造工程（成膜・エッチング・露光・イオン注入・パッケージング・検査工程等）に不可欠とされる高負荷対応仕様のターボ分子ポンプTGkine4200MI-B、極低振動仕様のターボ分子ポンプTG420MLとドライ真空ポンプER100Dを実機で展示いたします。

 

皆様のご来場を心よりお待ちしております。

 

「SEMICON West 2022」紹介動画

 

 

主な展示品

  • 反応生成物対策型磁気軸受形ターボ分子ポンプ（一体型）：TGkine4200MI-B
  • 極低振動磁気軸受形複合分子ポンプ：TG420ML
  • 省エネ型ドライ真空ポンプ：ER100D

 

会期・会場

  • 会期：2022年7月12日㈫～7月14日㈭
  • 会場：South Hall、Moscone Center（米国カリフォルニア州サンフランシスコ）
  • ブース: 1628

 

問合せ先