イベント情報

イベント情報SEMICON KOREA 2022 出展のお知らせ

 

韓国・ソウル市にて開催される「SEMICON KOREA 2022」に出展いたします。

 

当展示会では、半導体製造工程(成膜・エッチング・露光・イオン注入・パッケージング・検査工程等)に不可欠とされる高負荷対応仕様のターボ分子ポンプ、極低振動仕様のターボ分子ポンプとドライ真空ポンプを紹介いたします。

 

皆様のご来場を心よりお待ちしております。

 

「SEMICON Korea 2022」紹介動画

 

 

主な紹介製品(パネル)

  • 磁気軸受形ターボ分子ポンプ(コントローラ一体型):TGkine®-Bシリーズ
  • 磁気軸受形ターボ分子ポンプ:TGkine®-Rシリーズ
  • 反応生成物対策型磁気軸受形ターボ分子ポンプ:TGkine®-MIシリーズ
  • 極低振動磁気軸受形ターボ分子ポンプ:TG-MLシリーズ
  • 姿勢自在形ターボ分子ポンプ:TG-Fシリーズ
  • ドライ真空ポンプ::DSPシリーズ、ERシリーズ、FRシリーズ

等・・・

 

会期・会場

  • 会期:2022年2月9日㈬~2月11日㈮
  • 会場:COEX Korea Exhibition Center(韓国ソウル)
  • ブース: B616

 

問合せ先