イベント情報

イベント情報第34回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム 製品紹介

本展示会では、放射光に関連する技術開発における真空環境作りに役立つ、当社の豊富なラインアップを紹介します。

 

【紹介製品】

耐放射線仕様磁気軸受形ターボ分子ポンプ:TG-MRシリーズ

 

  • 累積吸収線量50MGyをクリア!
  • J-PARCのTMP要求仕様を十分に達成!
  • 取付姿勢自在、完全オイルフリー
  • 長尺ケーブル対応あり!(約200m追加可能)

【加速器、医療用加速器など】

 

磁場仕様磁気軸受形ターボ分子ポンプ:TG-MSシリーズ

 

  • 加速器や核融合などのつ用意磁場においても使用可能!
  • 磁場に対する耐久性を高めた磁場シールド機能付きを開発!
  • 強い磁場にあって回転に対するブレーキ作用や発熱などの心配がなく、安全に排気作業を行うことができる!
  • 大阪真空全機種対応可能!
  • 長尺ケーブル対応あり!(約200m追加可能)

 

分析・計測用途向けターボ分子ポンプ:TG60F / TG70F / TG240F

  • 外乱・振動に強く、運転中の移動も可能
  • 水素圧縮比最大105の高圧縮比を達成(TG70F、TG240F)
  • 完全姿勢自在でチャンバーへの直接取付可能
  • コントローラはポンプ一体型と分離型の選択可能
  • 高背圧で連続運転可能なので、ダイアフラムポンプと組合せも可能
    ※小型排気ユニットSTCompact(A4サイズ)

 

コンパクトスクリュー型ドライ真空ポンプ:DSPシリーズ

  • 省電力設計
  • 油逆流が無いクリーン排気が可能
  • オイルフリー・メンテナンスフリー
  • 内臓バイパス機構により、大気側の排気速度を維持
  • 冷却水不要
  • 国際規格適合 CE / SEMI / NRTL(DSP251/501のみ)

 

直結型油回転真空ポンプ(二段式):VRDシリーズ

  • ガスバラストバルブ(二段階調節)
  • 強制油循環システムを搭載
  • 吸気口・排気口のそれぞれに逆止弁を搭載
  • ピン接合による完全一体型シリンダー構造

 

ターボ分子ポンプ排気システム

  • 高真空排気システム
  • 簡単操作で高真空まで排気
  • キャスター付で、移動が簡単!
  • 外乱に強く、ポンプ運転中の移動が可能!
  • 必要に応じてオプション機器の取付が可能

 

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