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中国・上海にて開催される「SEMICON China / FPD China 2020」に出展致します。
今回の出展テーマは『ポンプのIoT対応』です。
IoT社会の実現に向け、データセンター・生体認証・ロボット・AI・スマートフォン・再生エネルギー等のハイテク分野において半導体・FPD・電子部品・LED・太陽光パネルの需要が増えてきており、これらを製作するために適切な真空環境が不可欠です。また、その真空環境を作り上げるために必要な真空ポンプにもIoT対応が必要だと考えています。
これらの産業の製造工程では、成膜・エッチング・露光・イオン注入・パッケージング・検査工程等がありターボ分子ポンプとドライポンプが不可欠です。その不可欠とされているターボ分子ポンプTGkine3800MI-R・TC0341MT(反応生成物対策仕様)、ドライポンプDSP250を実機で展示いたします。
皆様のご来場を心よりお待ちしております。
http://www.semiconchina.org/zh (中国語サイト)
http://www.semiconchina.org/en (英語サイト)
http://www.osakavacuum.co.jp/support/inquiry.html