Close

カタログのダウンロードは「会員登録」が必要です。

※カタログダウンロードをご希望の方は事前にユーザー登録が必要です。
ログイン、または新規会員登録よりユーザー登録を行ってください。
ご登録いただいたお客様は、電子カタログ（PDF）、
2D-CADデータ（DXF）、3D-CADデータ（STEP、IGES） の
ダウンロードができます。

イベント情報

イベント情報SEMICON Japan 2019 出展報告

 

※展示会は終了致しました。ご来場して頂いた皆様、誠にありがとうございました。

 

東京ビッグサイトにて開催される「SEMICON Japan 2019」に出展いたします。

 

今回の出展テーマは『ポンプのIoT対応』です。

IoT社会の実現に向け、データセンター・生体認証・ロボット・AI・スマートフォン・再生エネルギー等のハイテク分野において半導体・FPD・電子部品・LED・太陽光パネルの需要が増えてきており、これらを製作するために適切な真空環境が不可欠です。また、その真空環境を作り上げるために必要な真空ポンプにもIoT対応が必要だと考えています。
 
これらの産業の製造工程では、成膜・エッチング・露光・イオン注入・パッケージング・検査工程等がありターボ分子ポンプとドライポンプが不可欠です。その不可欠とされているターボ分子ポンプTGkine4200MI（反応生成物対策仕様）、TGkine3400M-R ・TC0331M（EtherCAT対応・高負荷対応仕様）、TG420ML（極低振動仕様）とドライポンプDSP50・DSP251・ER100Dなどを実機で展示いたします。
 
皆様のご来場を心よりお待ちしております。

 

「SEMICON Japan 2019」紹介動画（日本語）

SEMICON Japan 2019 (日本語) from SEMI Japan on Vimeo.

 

 

 

 

主な展示品

  • コントローラ・電源一体型/磁気軸受形 ターボ分子ポンプ（反応性生成物対応仕様）：TGkine4200MI
  • 磁気軸受形 ターボ分子ポンプ、コントローラ：TGkine3400M-R、TC0331M［新製品］
  • 磁気軸受形 複合分子ポンプ（極低振動仕様）：TG420ML
  •  コンパクトドライ真空ポンプ：DSP251［新製品］、DSP50
  • 省エネ型ドライ真空ポンプ：ER100D

 

会期・会場

  •  会 期 : 2019年12月11日 ～ 12月13日
  •  会 場 : 東京ビッグサイト
  •  ブースNo.: 8219（前工程ゾーン ；南2ホール）

 

問合せ先