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イベント情報

イベント情報SEMICON China / FPD China 2018 出展報告

 

※展示会は終了致しました。ご来場して頂いた皆様、誠にありがとうございました。

 

中国上海にて開催される「SEMICON China / FPD China 2018」に出展いたします。当展示会では、半導体、FPDはもとより、LED、太陽光パネル等の各産業でも広く活用されているターボ分子ポンプ、ドライ真空ポンプを中心に真空ポンプをご紹介いたします。 
特にエッチング、露光、検査工程等に不可欠な特殊仕様ターボ分子ポンプTGkine4200MI（反応生成物対策仕様）、TG420ML（極低振動仕様）を実機で展示いたします。 


皆様のご来場を心よりお待ちしております。

 

 

 

主な展示品

  • コントローラ・電源一体型/磁気軸受形　ターボ分子ポンプ（反応生成物対策仕様）：TGkine4200MI
  • 磁気軸受形ターボ分子ポンプ（極低振動仕様）：TG420ML
  • ドライ真空ポンプ：DSP500

 

会期・会場

  • 会 期 :  2018年3月14日 ～ 3月16日
  • 会 場 : 中国・上海新国際博覧中心
  • ブースNo.: N1-1122

 

問合せ先