产品信息

DSP251 / DSP501

  • DSP251 / DSP501
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■ 便携型

小型、轻量化、易搬运

抗外部干扰强

■ 低噪音

转子组件省略同步齿轮的设置,实现无噪音排气

配备隔音罩

■ 洁净排气

无油蒸气和粒子的逆流

■ 空冷型

仅电力需求,无需冷却水

■ 低震动

螺杆型转子设计,有效防止排气脉冲

■ 高速排气

内置旁通系统,大气压附近排气速度快

■ 免维修

因转子组件省略同步齿轮的设置,可无需使用润滑油

免维修,无需更换轴封及润滑油

■ 高效节能

省电设计

■ 标准配置气镇功能

避免水蒸气凝结于真空泵中

■ 国际规格

符合CE, SEMI, NRTL规格

用途

  • SEM、光刻
  • 分析设备
  • 医疗设备
  • 加速器、离子源、EB-Gun
  • 装载室/ 搬送室排气
  • 一般产业
  • PVD
  • R&D

规格

型号 DSP251 DSP501
排气速度 无气镇 L/min 230 500
气镇 L/min 200 430
到达压力 无气镇 Pa 0.5
气镇 Pa 2
接口规格 吸气口 - KF25 KF40
排气口 - KF25
质量(估值) kg 16 21
输入电源 相数 单相
电压 V AC100-230
±10%(50/60Hz)
功率 VA 450 660
连接 - 平川Hutec制造
CM11
消费电力 到达压力时 W 240 270
最大 380 600

外观尺寸表

外观尺寸表


※未经许可请不要复制或转载本产品信息。本公司有权对记载内容进行更改,恕不另行通知。

性能曲线

性能曲线

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