产品信息

TGkine3800M-R / TGkine4200M-R

  • TGkine3800M-R / TGkine4200M-R
■ 省电设计      
■ 在真空泵本体中,可存储设置参数,运转数据及异常历史等。 
 
※即使在维护阶段更换控制器,也可实现全数据转移。      
■ 支持多种通信接口规格 (兼容EtherCAT通信协定)      
■ 适用于国际规格 CE/NRTL/SEMI-S2

用途

■ 半导体制造设备
■ FPD制造设备
■ 太阳能电池制造设备
■ 玻璃/镜片等光学部件加工
■ 镀膜工艺
■ 加速器/宇宙环境模拟器

规格

型号※1
TGkine3800M-R
TGkine4200M-R
吸气口法兰
VG300 / ISO-B320
VG350
排气口法兰※2
KF40 / KF50
排気速度
N2 (L/s)
3600
4200
N2
(付带金属保护网) (L/s)
3400
4000
H2 (L/s)
2700
2700
最大压缩比
N2
>2×108
H2
2×103
最大气体流量※3、※4
N2 (sccm)
2800
Ar (sccm)
1300
起动时间
(min)
≦12
停止时间
(min)
≦14
到达压力※5
(Pa)
<5×10-7
(Torr)
<3.8×10-9
最大排气口压力※6
(Pa)
160
(Torr)
1.2
推荐前级泵
(L/min)
≧2000
安装方向
仅限正立或倒立安装
质量
(kg)
72 / 74
70


※1:有关型号等咨询,请联系销售人员。
※2:由于型号不同,规格表将会有所变化。
※3:1Pa・L/s(25℃)=0.543sccm(0℃、1气压)
※4:当排气口的前级排气速度值为5000L/min。
※5:加热48小时后的到达压力。
※6:在氮气环境中,真空泵无损伤的情况下,可连续运转的最大排气口压力。

外观尺寸表

外观尺寸表


※未经许可,请勿转载。相关记载会根据产品更新等原因可能会变化,恕不另行通知。

性能曲线

性能曲线
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控制器

控制器


控制器


控制器型号
TC0341M
输入电压
(ACV)
200~240 -15~+10%
相数
単相
输入频率
(Hz)
50/60
所需最大电力
(kVA)
1.0
质量
(kg)
8
通信接口规格
Parallel I/O・RS232C・RS485・
Profibus・DeviceNet・EtherCAT
标准配件
・输入电缆(5m):1本
・使用说明书(控制器本体、串联通信):各1册