产品信息

TGkine2200M-R

  • TGkine2200M-R
■ 省电设计      
■ 在真空泵本体中,可存储设置参数,运转数据及异常历史等。 
 
※即使在维护阶段更换控制器,也可实现全数据转移。      
■ 支持多种通信接口规格 (兼容EtherCAT通信协定)      
■ 适用于国际规格 CE/NRTL/SEMI-S2

用途

■ 半导体制造设备
■ FPD制造设备
■ 太阳能电池制造设备
■ 玻璃/镜片等光学部件加工
■ 镀膜工艺
■ 加速器/宇宙环境模拟器

规格

型号※1
TGkine2200M-R
吸气口法兰
ISO-B250 / VG250
排气口法兰※2
KF40 / KF50
排気速度
N2 (L/s)
2200
N2

(付带金属保护网) (L/s)
2100
H2 (L/s)
1800
最大压缩比
N2
>2×108
H2
3×103
最大气体流量※3、※4
N2 (sccm)
7000
Ar (sccm)
3000
起动时间
(min)
≦10
停止时间
(min)
≦10
到达压力※5
(Pa)
<2×10-7
(Torr)
<1.5×10-9
最大排气口压力※6
(Pa)
220
(Torr)
1.65
推荐前级泵
(L/min)
≧2000
安装方向
任意
质量
(kg)
59

 

※1:有关型号等咨询,请联系销售人员。
※2:由于型号不同,规格表将会有所变化。
※3:1Pa・L/s(25℃) = 0.543sccm(0℃、1气压)
※4:当排气口的前级排气速度值为5000L/min。
※5:加热48小时后的到达压力。
※6:在氮气环境中,真空泵无损伤的情况下,可连续运转的最大排气口压力。

 

外观尺寸表

外观尺寸表


※未经许可,请勿转载。相关记载会根据产品更新等原因可能会变化,恕不另行通知。

性能曲线

性能曲线
※未经许可,请勿转载。相关记载会根据产品更新等原因可能会变化,恕不另行通知。

控制器

控制器


控制器


控制器型号
TC0321M
输入电压
(ACV)
200~240 -15~+10%
相数
单相
输入频率
(Hz)
50/60
所需最大电力
(kVA)
0.9
质量
(kg)
8
通信接口规格
Parallel I/O・RS232C・RS485・Profibus・

DeviceNet・EtherCAT
标准配件
・输入电缆(5m):1本

・使用说明书(控制器本体、串联通信):各1册