产品信息

油扩散真空泵

  • 油扩散真空泵
  • 使用方法简单,可轻松获得高真空环境。广泛应用于真空冶炼,真空蒸镀,电子束焊接,溅射设备等真空设备上。
  • 可提供排气速度在10,000L/s(无冷阱)的产品。
  • 因工作油的沸腾而引起的压力变动少,产品可靠性高。
  • 无机械操作部分,坚固,产品寿命长。
  • 拆卸简单,便于日常维护,清扫,检查。

规格

标准规格
型号※1 DP2 DP3 DP4 DP6 DP8 DP10
排气速度
(L/s)
无冷阱 125 280 380 810 1450 2070
标准冷阱 58 150 215 465 790 1200
极限压力(Pa) ~10-5
无负荷临界背压(Pa) 20 15
油逆流量 -(标准冷阱)
(mg/cm2・min)
<10-4
标准冷阱 水冷 百叶窗
加热器 电源 AC100V, 1φ AC200, 1φ
功率(kW) 0.33 0.5 0.7 1 1.4 1.9
油量(L) 0.05 0.1 0.15 0.34 0.5 0.82
冷却水量 -(包括冷阱)※2
(m3/h)
0.03 0.06 0.09 0.18 0.24 0.3
重量(kg) 4 6 8 20 30 41
标准前级泵※3 VRD-4 VRD-8 VRD-24 VRD-48 P90 P180/P222

 

标准规格
型号※1 DP14 DP18B DP22B DP24B DP28B DP36
排气速度
(L/s)
无冷阱 3600 8000 12800 13200 17700 40000
标准冷阱 2350 4600 6900 7900 9800 18000
极限压力(Pa) ~10-5
无负荷临界背压(Pa) 15 59 65 65 67 27
油逆流量 -(标准冷阱)
(mg/cm2・min)
<10-4
标准冷阱 水冷 百叶窗
加热器 电源 AC200, 3φ
功率(kW) 4.5 3.5 5.4 6.6 8 15
油量(L) 1.6 2.2 3 3.5 4.5 9
冷却水量 -(包括冷阱)※2
(m3/h)
0.42 0.3 0.42 0.6 上回路0.18以上
下回路0.54以上
2.4
重量(kg) 135 110 167 210 250 1000
标准前级泵※3 具体根据规格选定

 

※1:末尾B是节能,省空间型。
※2:冷却水入口温度不得高于25度。
※3:辅助真空泵请根据被排气的容积,或有其他式样待定时,请咨询销售人员。

 

标准附属品

  • 工作油(Lion-A牌)… 1台的量
  • 吸气口,排气口用的密封垫圈(丁腈橡胶)…1个
  • 油面计(DP10以上)…1个
  • 供排油口(DP10以上)…1个
  • 温控开关(DP8~DP22B)…1个
  • 温控器(DP18B以上) …1个

外观尺寸表

外观尺寸表


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