产品信息

ST系列（TG-F系列＋干式真空泵）

■高真空排气机组

■可通过简单操作实现到达高真空的排气

■产品实现了触屏式操作

■产品附带脚轮，方便搬运！

■抗干扰强，可在泵运行期间移动！

■可根据需求，安装可选附属设备

规格

型号		ST220F*D	ST350F*D	ST450F*D
涡轮分子泵		TG220F	TG350F	TG450F
排气速度（N2；L/s）		220(210) ^※1	350(330) ^※1	450(430) ^※1
极限压力	(Pa)	<1×10^-6
	(Torr)	<7.5×10^-9
吸气口法兰		VG100/CF100/ISO-R100		VG150/CF160/ISO-B160
前级泵		干式真空泵　DSP250 230 (200) L/min ^※2
冷却方式		空冷
电源		单相、AC100V/AC200V
标准配置		涡轮分子泵干式真空泵涡轮分子泵控制器 ST控制器真空配管自动慢排阀铝制架台

※1 （　）内是，附带金属保护网时的排气速度。
※2 （　）内是，开启气镇时的排气速度。

外观尺寸表