ST系列(TG-F系列+滑阀真空泵)
■高真空排气机组
■可通过简单操作实现到达高真空的排气
■产品附带脚轮,方便搬运!
■抗干扰强,可在泵运行期间移动!
■可根据需求,安装可选附属设备
规格
型号 | ST050F*050 | ST220F*050 | ST350F*050 | |
涡轮分子泵 | TG50F | TG220F | TG350F | |
排气速度(N2;L/s) | 51(49)※1 | 220(210)※1 | 350(330)※1 | |
极限压力 | (Pa) | <3×10-6 | <1×10-6 | |
(Torr) | <2.3×10-8 | <7.5×10-9 | ||
吸气口法兰 | VG65/ISO-R63/CF63 | VG100/ISO-R100/CF100 | ||
前级泵 | 旋片泵 50/60 L/min (50/60Hz) |
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冷却方式 | 空冷 | |||
电源 | 单相、AC100V | |||
标准配置 |
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外观尺寸表
型号 | A | B | C |
ST050FV050 | VG65 | 486 | 155 |
ST050FR050 | ISO-R63 | 507 | 155 |
ST050FC050 | CF63 | 521 | 155 |
ST220FV050 | VG100 | 539 | 175 |
ST220FR050 | ISO-R100 | 539 | 175 |
ST220FC050 | CF100 | 559 | 175 |
ST350FV050 | VG100 | 569 | 175 |
ST350FR050 | ISO-R100 | 553 | 175 |
ST350FC050 | CF100 | 569 | 175 |