产品信息

R6002

　■旋转轴强度高

　→可低真空条件下起动及连续运转

　■可根据负荷条件选择电机

　→通过高效的操作降低设备成本

　■节能

　→产品可对应90～12000 m³/ h的需求

　■可与多种辅助泵进行搭配

　→罗茨＋滑阀・液环真空泵

　■根据皮带驱动实现大量排气

　■适用于大腔体的排气

　■选择旁通阀（可选）可实现在高压强下发挥最大的排气能力

　■根据工艺不同可提供最适当的组合

用途

・半导体、FPD

・真空镀膜

・金属、钢铁、产业机器

・医疗、化学、医药品、食品

・研究开发

规格

※1：实际排气速度根据使用的前级泵不同会有所变化，详细请咨询我司销售人员。
※2：冷却水最高温度以30度为基准。
容许的环境温度：运行时为+10℃～+40℃、保管时为-5℃～+60℃。
请将水排净，以防保管真空泵时产生冻裂。

外观尺寸表

※未经许可，请勿转载。相关记载会根据产品更新等原因可能会变化，恕不另行通知。