RD600
■旋转轴强度高
→可低真空条件下起动及连续运转
■可根据负荷条件选择电机
→通过高效的操作降低设备成本
■节能
→产品可对应90~12000 m3/ h的需求
■可与多种辅助泵进行搭配
→罗茨+滑阀・液环真空泵
用途
・半导体、FPD
・真空镀膜
・金属、钢铁、产业机器
・医疗、化学、医药品、食品
・研究开发
规格
吸气口法兰 | 100A JIS10KFF | |
额定排气速度※1 (m3/h) |
50Hz | 500 |
60Hz | 600 | |
容许压力差 [使用标准电机时] (kPa) |
50Hz | 9.3 |
60Hz | 8 | |
极限压力 (Pa) |
单级滑阀泵为前级时 | 7×10-2 |
双极滑阀泵为前级时 | 1.3×10-2 | |
前级泵的基本排气速度 (m3/h) |
90~220 | |
转速 (r/min) |
50Hz | 1500 |
60Hz | 1800 | |
标准电机功率 (kW) |
2.2 | |
油量 (L) |
2.7 | |
冷却水量※2 (m3/h) |
0.4 | |
重量 (kg) |
附带全封闭式风扇外置型电机 | 260 |
无电机 | 220 |
外观尺寸表