RD302
■旋转轴强度高
→可低真空条件下起动及连续运转
■可根据负荷条件选择电机
→通过高效的操作降低设备成本
■节能
→产品可对应90~12000 m3/ h的需求
■可与多种辅助泵进行搭配
→罗茨+滑阀・液环真空泵
用途
・半导体、FPD
・真空镀膜
・金属、钢铁、产业机器
・医疗、化学、医药品、食品
・研究开发
规格
吸气口法兰 | 80A JISB2290VF | |
额定排气速度※1 (m3/h) |
50Hz | 250 |
60Hz | 300 | |
容许压力差 [使用标准电机时] (kPa) |
50Hz | 9.3 |
60Hz | 8 | |
极限压力 (Pa) |
单级滑阀泵为前级时 | 7×10-2 |
双极滑阀泵为前级时 | 1.3×10-2 | |
前级泵的基本排气速度 (m3/h) |
36~100 | |
转速 (r/min) |
50Hz | 3000 |
60Hz | 3600 | |
标准电机功率 (kW) |
1.5 | |
油量 (L) |
0.9 | |
冷却方式 | 空冷 | |
重量 (kg) |
附带全封闭式风扇外置型电机 | 110 |
无电机 | 80 |
※1:实际排气速度根据使用的前级泵不同会有所变化,详细请咨询我司销售人员。
※2:冷却水温最高30℃
容许的环境温度:运行时为+10℃~+40℃、保管时为-5℃~+60℃。
请将水排净,以防保管真空泵时产生冻裂。
外观尺寸表