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RA100
■旋转轴强度高
→可低真空条件下起动及连续运转
■可根据负荷条件选择电机
→通过高效的操作降低设备成本
■节能
→产品可对应90～12000 m3/ h的需求
■可与多种辅助泵进行搭配
→罗茨＋滑阀・液环真空泵
用途
・半导体、FPD
・真空镀膜
・金属、钢铁、产业机器
・医疗、化学、医药品、食品
・研究开发
规格
| 吸气口法兰 | VG50 | |
| 额定排气速度※1 (m3/h) |
50Hz | 90 |
| 60Hz | 110 | |
| 容许压力差 [使用标准电机时] （kPa） |
50Hz | 9.3 |
| 60Hz | 8 | |
| 极限压力 (Pa) |
单级滑阀泵为前级时 | 7×10-2 |
| 双极滑阀泵为前级时 | 1.3×10-2 | |
| 前级泵的基本排气速度 (m3/h) |
18～36 | |
| 转速 (r/min) |
50Hz | 3000 |
| 60Hz | 3600 | |
| 标准电机功率 (kW) |
0.4 | |
| 油量 (L) |
0.33 | |
| 冷却水量※2 (m3/h) |
0.06 | |
| 重量 (kg) |
附带全封闭式风扇外置型电机 | 25 |
| 无电机 | 17 | |
※1：实际排气速度根据使用的前级泵不同会有所变化，详细请咨询我司销售人员。
※2：冷却水最高温度以30度为基准。
容许的环境温度：运行时为+10℃～+40℃、保管时为-5℃～+60℃。
请将水排净，以防保管真空泵时产生冻裂。
外观尺寸表
※未经许可，请勿转载。相关记载会根据产品更新等原因可能会变化，恕不另行通知。