产品信息

TG350F

  • TG350F
  • 全方位安装
  • 轻巧设计
  • 节能
  • 迅速启动
  • 使用破控功能可迅速停止
  • 耐大气冲击能力强
  • 多种通信模式
  • 符合安全规格NRTL/SEMI-S2/CE

用途

  • 半导体制造
  • 电子枪排气,离子源排气
  • FPD制造
  • 表面处理,表面改质
  • 各种电子部件的制造
  • 分析,试验装置
  • 管球制造,光学部件制造
  • 加速器,放射线设施,核聚变研究
  • 热处理
  • 研究开发

※排放腐蚀性气体时,请选择耐腐蚀性的TG-M,TG系列。


规格

吸气口法兰 VG100
CF100
ISO-R100
排气速度 VG/ISO-R・CF N2 (L/s) 350/330
VG/ISO-R・CF N2(附加金属保护网) (L/s) 330/310
VG/ISO-R・CF H2 (L/s) 210
最大压缩比 N2 1×108
H2 2×103
极限压力 Pa/Torr <1×10-6/<7.5×10-9
最大气体流量※1 N2 (sccm) 500
启动时间 (min)  2-2.5
停止时间 (min) 5-6.5
允许辅助压力 (Pa/Torr) 260/2
推荐辅助泵 (L/min) ≧80
安装角度 任意
重量 VG・ISO-R/CF(kg) 4.2/6

※1:辅助泵的容量是160L/min情况下的最大容许流量

[ 使用环境温度 ]

极限压力保证环境温度是10~23℃。另外,容许环境温度在空冷情况下是10~32℃,水冷情况下是10~40℃。极限压力保证冷却水温在30℃以下时容许冷却水温是10~35℃。

[ 对应气体种类 ]

由于排气的气体种类不同,可能导致泵内零件的老化。关于对应的气体种类请咨询销售人员。

外观尺寸表

外观尺寸表


VG100 φ185 15 230
CF100 φ152 21 230
ISO-R100 φ130 12 214

●吸气口法兰对称分布于排气口。

※未经许可,请勿转载。相关记载会根据产品更新等原因可能会变化,恕不另行通知。

性能曲线

性能曲线
性能曲线

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控制器

控制器


控制器


控制器型式 TC353
输入电压(ACV) 100-110 (±10%) / 200-230 (±10%)
输入频率(Hz) 50/60
相数 単相
所需最大电力(VA) 610
输出频率(Hz) 750
重量(kg) 2.7
标准附属品 ・输入接头 1个
・远控接插头 1个
・通信接插头1个
・使用说明书 (机身,通信)各1套