产品信息

TG60F

  • TG60F

 ■全方位安装

 ■轻巧设计

 ■节能

 ■迅速启动

 ■使用破控功能可迅速停止

 ■耐大气冲击能力强

 ■多种通信模式

 ■高压缩比

 ■电源控制器与分子泵一体化

 

 ■符合安全规格NRTL/SEMI-S2/CE

 (※仅限TG60F-20)

用途

・半导体制造
・电子枪排气,离子源排气
・FPD制造
・表面处理,表面改质
・各种电子部件的制造
・分析,试验装置
・管球制造,光学部件制造
・加速器,放射线设施,核聚变研究
・热处理
・研究开发

※排放腐蚀性气体时,请选择耐腐蚀性的TG-M,TG系列。


规格

型号 TG60F TG60F-20
吸气口法兰 ISO-R63、CF63、(KF40)※4
排气速度 N2 (L/s) 60
N2(附加金属保护网) (L/s) 55
H2 (L/s) 22
最大压缩比 N2 2×107
H2 2×103
极限压力 VG・ISO-R/CF (Pa) <5×10-6 / <1×10-6
VG・ISO-R/CF (Torr) <3.8×10-8 / <7.5×10-9
最大气体流量※1 自然风冷 N2 (sccm) 10
强制风冷 N2 (sccm) 20
启动时间 (min)  1.5-2
允许辅助压力 (Pa/Torr) 800 (6)
推荐辅助泵 (L/min) ≧25
重量※2 ISO-R/CF(kg)  3.4 / 5.4
控制器型号※3 TC65 TC66
输入电压(V) DC24V AC100-230V(±10%)
所需最大电力(W) 120W 160VA
  • ※1:辅助泵的容量是25L/min情况下的最大容许流量
  • ※2:TG60F的情况。TG60F-20查看右方记载。ISO-R型…3kg CF型…5kg
  • ※3:可选择泵和控制器一体型(TC65)或者是分离式型(TC66)
  • ※4:关于吸气口法兰KF40的规格请另行咨询销售人员。
  • [ 使用环境温度 ]
  • 极限压力保证环境温度是10~23℃。另外,容许环境温度是8~38℃
  • [ 对应气体种类 ]
  • 由于排气的气体种类不同,可能导致泵内零件的老化。关于对应的气体种类请咨询销售人员。

外观尺寸表

外观尺寸表


  • CF63 φ114 18 170 76 141
    ISO-R63 φ95 12 144.5 50.5 115.5
  • ●吸气口法兰对称分布于排气口。
  • ※未经许可,请勿转载。相关记载会根据产品更新等原因可能会变化,恕不另行通知。

性能曲线

性能曲线
性能曲线

※未经许可,请勿转载。相关记载会根据产品更新等原因可能会变化,恕不另行通知。

控制器

控制器


控制器


控制器型号 TC66
输入电压(ACV) 100-230
输入频率(Hz) 50/60
相数 单相
所需最大电力(VA) 160
输出频率(Hz) 1150
重量(kg) 2.4
标准附属品 ・输入接头 1个
・远控接插头 1个
・使用说明书:1套