产品信息

TG60F

用途

• 半导体制造
• 电子枪排气，离子源排气
• FPD制造
• 表面处理，表面改质
• 各种电子部件的制造
• 分析，试验装置
• 管球制造，光学部件制造
• 加速器，放射线设施，核聚变研究
• 热处理
• 研究开发

※排放腐蚀性气体时，请选择耐腐蚀性的TG-M，TG系列。

• 规格
• 外观尺寸表
• 性能曲线
• 控制器

规格

外观尺寸表

• Ⓐ	Ⓑ	Ⓒ	Ⓓ	Ⓔ	Ⓕ
  CF63	φ114	18	170	76	141
  ISO-R63	φ95	12	144.5	50.5	115.5

• ●吸气口法兰对称分布于排气口。
• ※未经许可，请勿转载。相关记载会根据产品更新等原因可能会变化，恕不另行通知。

性能曲线

※未经许可，请勿转载。相关记载会根据产品更新等原因可能会变化，恕不另行通知。

控制器

控制器型号	TC66
输入电压(ACV)	100-230
输入频率(Hz)	50/60
相数	单相
所需最大电力(VA)	240
输出频率(Hz)	1150
重量(kg)	2.4
标准附属品	・输入接头 1个 ・远控接插头 1个 ・使用说明书：1套