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产品信息

TG60F

　■全方位安装

　■轻巧设计

　■节能

　■迅速启动

　■使用破控功能可迅速停止

　■耐大气冲击能力强

　■多种通信模式

　■高压缩比

　■电源控制器与分子泵一体化

　■符合安全规格NRTL/SEMI-S2/CE

　（※仅限TG60F-20）

用途

・半导体制造
・电子枪排气，离子源排气
・FPD制造
・表面处理，表面改质
・各种电子部件的制造
・分析，试验装置
・管球制造，光学部件制造
・加速器，放射线设施，核聚变研究
・热处理
・研究开发

※排放腐蚀性气体时，请选择耐腐蚀性的TG-M，TG系列。

规格
外观尺寸表
性能曲线
控制器

规格

型号		TG60F	TG60F-20
吸气口法兰		ISO-R63、CF63、(KF40)^※4
排气速度	N₂ (L/s)	60
	N₂(附加金属保护网) (L/s)	55
	H₂ (L/s)	22
最大压缩比	N₂	2×10⁷
	H₂	2×10³
极限压力	VG・ISO-R/CF (Pa)	<5×10^-6 / <1×10^-6
	VG・ISO-R/CF (Torr)	<3.8×10^-8 / <7.5×10^-9
最大气体流量^※1	自然风冷 N₂ (sccm)	10
	强制风冷 N₂ (sccm)	20
启动时间	(min)	1.5-2
允许辅助压力	(Pa/Torr)	800 （6）
推荐辅助泵	(L/min)	≧25
重量^※2	ISO-R/CF(kg)	3.4 / 5.4
控制器型号^※3		TC65	TC66
输入电压（V）		DC24V	AC100-230V(±10%)
所需最大电力（W)		120W	160VA

※1：辅助泵的容量是25L/min情况下的最大容许流量
※2：TG60F的情况。TG60F-20查看右方记载。ISO-R型…3kg CF型…5kg
※3：可选择泵和控制器一体型(TC65)或者是分离式型(TC66)
※4：关于吸气口法兰KF40的规格请另行咨询销售人员。
[ 使用环境温度 ]
极限压力保证环境温度是10～23℃。另外，容许环境温度是8～38℃
[ 对应气体种类 ]
由于排气的气体种类不同，可能导致泵内零件的老化。关于对应的气体种类请咨询销售人员。

外观尺寸表

外观尺寸表

Ⓐ Ⓑ Ⓒ Ⓓ Ⓔ
Ⓕ

CF63 φ114 18 170 76 141

ISO-R63 φ95 12 144.5 50.5 115.5
●吸气口法兰对称分布于排气口。
※未经许可，请勿转载。相关记载会根据产品更新等原因可能会变化，恕不另行通知。

性能曲线

性能曲线

性能曲线

※未经许可，请勿转载。相关记载会根据产品更新等原因可能会变化，恕不另行通知。

控制器

控制器

控制器

控制器型号	TC66
输入电压(ACV)	100-230
输入频率(Hz)	50/60
相数	单相
所需最大电力(VA)	160
输出频率(Hz)	1150
重量(kg)	2.4
标准附属品	・输入接头 1个・远控接插头 1个・使用说明书：1套