产品信息
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- 涡轮分子泵
- TG60F
TG60F
- 全方位安装
- 轻巧设计
- 节能
- 迅速启动
- 使用破控功能可迅速停止
- 耐大气冲击能力强
- 多种通信模式
- 高压缩比
- 电源控制器与分子泵一体化
- 符合安全规格NRTL/SEMI-S2/CE
（※仅限TG60F-20）
用途
- 半导体制造
- 电子枪排气，离子源排气
- FPD制造
- 表面处理，表面改质
- 各种电子部件的制造
- 分析，试验装置
- 管球制造，光学部件制造
- 加速器，放射线设施，核聚变研究
- 热处理
- 研究开发
※排放腐蚀性气体时，请选择耐腐蚀性的TG-M，TG系列。
规格
| 型号 | TG60F | TG60F-20 | |
| 吸气口法兰 | ISO-R63、CF63、(KF40)※4 | ||
| 排气速度 | N2 (L/s) | 60 | |
| N2(附加金属保护网) (L/s) | 55 | ||
| H2 (L/s) | 22 | ||
| 最大压缩比 | N2 | 2×107 | |
| H2 | 2×103 | ||
| 极限压力 | VG・ISO-R/CF (Pa) | <5×10-6 / <1×10-6 | |
| VG・ISO-R/CF (Torr) | <3.8×10-8 / <7.5×10-9 | ||
| 最大气体流量※1 | 自然风冷 N2 (sccm) | 10 | |
| 强制风冷 N2 (sccm) | 20 | ||
| 启动时间 | (min) | 1.5-2 | |
| 允许辅助压力 | (Pa/Torr) | 800 （6） | |
| 推荐辅助泵 | (L/min) | ≧25 | |
| 重量※2 | ISO-R/CF(kg) | 3.4 / 5.4 | |
| 控制器型号※3 | TC65 | TC66 | |
| 输入电压（V） | DC24V | AC100-230V(±10%) | |
| 所需最大电力（W) | 120W | 160VA | |
※1：辅助泵的容量是25L/min情况下的最大容许流量
※2：TG60F的情况。TG60F-20查看右方记载。ISO-R型…3kg CF型…5kg
※3：可选择泵和控制器一体型(TC65)或者是分离式型(TC66)
※4：关于吸气口法兰KF40的规格请另行咨询销售人员。
[ 使用环境温度 ]
极限压力保证环境温度是10～23℃。另外，容许环境温度是8～38℃
[ 对应气体种类 ]
由于排气的气体种类不同，可能导致泵内零件的老化。关于对应的气体种类请咨询销售人员。
外观尺寸表
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Ⓐ Ⓑ Ⓒ Ⓓ Ⓔ Ⓕ
CF63 φ114 18 170 76 141 ISO-R63 φ95 12 144.5 50.5 115.5 - ●吸气口法兰对称分布于排气口。
- ※未经许可，请勿转载。相关记载会根据产品更新等原因可能会变化，恕不另行通知。
性能曲线
※未经许可，请勿转载。相关记载会根据产品更新等原因可能会变化，恕不另行通知。
控制器
| 控制器型号 | TC66 |
| 输入电压(ACV) | 100-230 |
| 输入频率(Hz) | 50/60 |
| 相数 | 单相 |
| 所需最大电力(VA) | 160 |
| 输出频率(Hz) | 1150 |
| 重量(kg) | 2.4 |
| 标准附属品 | ・输入接头 1个 ・远控接插头 1个 ・使用说明书：1套 |