产品信息

小型干式真空泵 DSP50 ⁄ DSP250 ⁄ DSP500

  • 小型干式真空泵 DSP50 ⁄ DSP250 ⁄ DSP500
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■ 排气速度

 50L⁄min、230L⁄min、500L⁄min 3种产品

■ 极限压力

 DSP50:20Pa、DSP250 ⁄ 500:0.5Pa

■ 洁净排气

 没有油蒸气,粒子的逆流

■ 无润滑油

 无同步齿轮,也不需要润滑油

■ 携带方便

 小型,轻量,抗外部干扰

■ 空冷规格

 不需要冷却水

■ 初期排气时间短

 大气压附近排气速度快

■ 节能

 低消费电力設計

用途

・SEM,光刻
・医疗设备
・装载室,搬送室排气
・分析仪器
・加速器,离子源,电子枪的排气
・一般产业
・PVD ・R&D


规格

型 号 DSP50 DSP250 DSP500
排气速度
(L/min)
最大 50 230 500
开放气镇时 36 200 430
极限压力
(Pa)
通常 20 0.5
开放气镇时 200 2.0
连接形式 吸气口 KF16 KF25 KF40
排气口 Rc1 KF25
所需电力
(W)
极限压力时 230 240 270
最大 380 600
电源 电压(V) 100-240 100-230
频率(Hz) 50/60
相数 单相
容许变动电压 ±10%
冷却方式 空冷
重量(kg) 9 15 20

外观尺寸表

外观尺寸表


  • ※未经许可,请勿转载。相关记载会根据产品更新等原因可能会变化,恕不另行通知。

性能曲线

性能曲线
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