产品信息

TG50F

  • TG50F

 ■全方位安装


 ■轻巧设计


 ■节能


 ■迅速启动

 

 ■使用破控功能可迅速停止

 

 ■耐大气冲击能力强

 

 ■多种通信模式

用途

・半导体制造
・电子枪排气,离子源排气
・FPD制造
・表面处理,表面改质
・各种电子部件的制造
・分析,试验装置
・管球制造,光学部件制造
・加速器,放射线设施,核聚变研究
・热处理
・研究开发

※排放腐蚀性气体时,请选择耐腐蚀性的TG-M,TG系列。


规格

吸气口法兰 VG65/ISO-R63/CF63
排气速度 N2 (L/s) 51
N2(附加金属保护网) (L/s) 49
H2 (L/s) 12
最大压缩比 N2 1.4×107
H2 5×102
极限压力 VG・ISO-R/CF (Pa) <3×10-6
VG・ISO-R/CF (Torr) <2.3×10-8
最大气体流量※1 N2 (sccm) 80
启动时间 (min)  1-1.5
停止时间 (min) 1-1.5
允许辅助压力 (Pa/Torr) 1330/10
推荐辅助泵 (L/min) ≧50
安装角度 任意
重量 VG・ISO-R/CF(kg) 4.2/6
  • ※1:辅助泵的容量是100L/min情况下的最大容许流量
  • [ 使用环境温度 ]
  • 极限压力保证环境温度是10~23℃。另外,容许环境温度在空冷情况下是10~32℃,水冷情况下是10~40℃。极限压力保证冷却水温在30℃以下时容许冷却水温是10~35℃。
  • [ 对应气体种类 ]
  • 由于排气的气体种类不同,可能导致泵内零件的老化。关于对应的气体种类请咨询销售人员。

外观尺寸表

外观尺寸表


A B C D
VG65 φ145 14 147
CF63 φ114 18 182
ISO-R63 φ95 12 168
  • ●吸气口法兰对称分布于排气口。
  • ※未经许可,请勿转载。相关记载会根据产品更新等原因可能会变化,恕不另行通知。

 

性能曲线

性能曲线
性能曲线
  • ※未经许可,请勿转载。相关记载会根据产品更新等原因可能会变化,恕不另行通知。

控制器

控制器


控制器


控制器型号
TC64
输入电压(ACV)
100-110 (±10%) / 200-230 (±10%)
输入频率(Hz)
50/60
相数
所需最大电力(VA)
220
输出频率(Hz)
800
重量(kg)
2.7
标准附属品 ・输入接头 1个
・远控接插头 1个
・通信接插头1个
・使用说明书 (机身,通信)各1套