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TG50F

用途

・半导体制造
・电子枪排气，离子源排气
・FPD制造
・表面处理，表面改质
・各种电子部件的制造
・分析，试验装置
・管球制造，光学部件制造
・加速器，放射线设施，核聚变研究
・热处理
・研究开发

※排放腐蚀性气体时，请选择耐腐蚀性的TG-M，TG系列。

• 规格
• 外观尺寸表
• 性能曲线
• 控制器

规格

吸气口法兰		VG65/ISO-R63/CF63
排气速度	N2 (L/s)	51
	N2(附加金属保护网) (L/s)	49
	H2 (L/s)	12
最大压缩比	N2	1.4×107
	H2	5×102
极限压力	VG・ISO-R/CF (Pa)	<3×10-6
	VG・ISO-R/CF (Torr)	<2.3×10-8
最大气体流量※1	N2 (sccm)	80
启动时间	(min)	1-1.5
停止时间	(min)	1-1.5
允许辅助压力	(Pa/Torr)	1330/10
推荐辅助泵	(L/min)	≧50
安装角度		任意
重量	VG･ISO-R/CF(kg)	4.2/6

• ※1：辅助泵的容量是100L/min情况下的最大容许流量
• [ 使用环境温度 ]
• 极限压力保证环境温度是10～23℃。另外，容许环境温度在空冷情况下是10～32℃，水冷情况下是10～40℃。极限压力保证冷却水温在30℃以下时容许冷却水温是10～35℃。
• [ 对应气体种类 ]
• 由于排气的气体种类不同，可能导致泵内零件的老化。关于对应的气体种类请咨询销售人员。

外观尺寸表

VG65	φ145	14	147
CF63	φ114	18	182
ISO-R63	φ95	12	168

• ●吸气口法兰对称分布于排气口。
• ※未经许可，请勿转载。相关记载会根据产品更新等原因可能会变化，恕不另行通知。

 

性能曲线

• ※未经许可，请勿转载。相关记载会根据产品更新等原因可能会变化，恕不另行通知。

控制器

控制器型号	TC64
输入电压(ACV)	100-110 (±10%) / 200-230 (±10%)
输入频率(Hz)	50/60
相数	单相
所需最大电力(VA)	220
输出频率(Hz)	800
重量(kg)	2.7
标准附属品	・输入接头 1个 ・远控接插头 1个 ・通信接插头1个 ・使用说明书 (机身，通信)各1套