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我们将于10月8日和9日在马林麦瑟福冈举办的“第2届【九州】半导体产业展”上参展。
在本次展会上,我们将介绍适用于半导体制造工艺(如薄膜沉积、刻蚀、光刻、离子注入、封装及检测等)中不可或缺的大排气速度・高流量规格的涡轮分子泵、超低振动规格的涡轮分子泵与干式真空泵。
诚挚期待您的莅临参观。
电源・控制器一体型磁悬浮轴承涡轮分子泵:TGkine®-B系列
反应生成物对应型磁悬浮涡轮分子泵(一体式)ꓽTGkine®-MI系列
极低振动型涡轮分子泵ꓽ:TG-ML系列
全方位安装复合分子泵:TG-F系列
节能型干式真空泵:ER100D
空冷型多级罗茨干泵:FR060D