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大阪真空将于2025年3月26日-3月28日参加上海举办的「SEMICON CHINA / FPD CHINA 2025」展会。
在本次展会上,我们将介绍适用于半导体制造工艺(如薄膜沉积、刻蚀、光刻、离子注入、封装及检测等)的涡轮分子泵和干式真空泵。
大阪真空将诚挚地等候各位来宾的光临。
反应生成物对应型磁悬浮涡轮分子泵:TGkine3800MI-R
控制器・电源一体型磁悬浮涡轮分子泵:TGkine2200M-B(3D打印模型)
极低振动型涡轮分子泵:TG420ML
空冷型多级罗茨干泵:FR060