活动讯息

活动讯息SEMICON China / FPD China 2018 出展报告

 

※本展会已结束。

非常感谢大家的来访,期待与您的下次相遇。

 

大阪真空将参加于中国上海召开的「SEMICON China / FPD China 2018」。

本次展会中,我们将介绍以半导体、FPD产业为中心,并活跃在LED、太阳能电池等诸多产业的涡轮分子泵与干式真空泵。
特别在蚀刻、露光、检查工艺上被广泛使用的特殊型号复合分子泵TGkine4200MI(耐反应生成物型)、TG420ML(极低振动型)将以实体机器的形式进行展出。 


诚挚等候各位来宾的光临。 

 

 

主要展出展品

  •  控制器·电源内置型磁悬浮复合分子泵(耐反应生成物型):TGkine4200MI
  •  磁悬浮复合分子泵(极低振动型):TG420ML
  •  干式真空泵:DSP500

 

会期・会场

  •  会 期: 2018年3月14日 ~ 3月16日
  •  会 場: 中国・上海新国际博览中心
    (中国 上海市 浦东新区 世纪公园 )
  •  展位号: N1-1122

 

详情请洽