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TG70F排気システム ST-Compactシリーズ

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• 外観寸法図
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型　式	STC70FR005	STC70FR013
吸気口フランジ	ISO-R63
排気口フランジ	G1/8※1
ターボ分子ポンプ	TG70FRAB	TG70FRNB
補助ポンプ	ダイアフラムポンプ
	5 L/min	13 L/min
排気速度 (L/s) N2	70
到達圧力 (Pa)	10-6台
質量 (kg)	14	19
電源	AC100-120V	AC100V
最大所要電力	140VA	210VA
付属品	・入力ケーブル(5m)：1本 ・取扱説明書：1部

• ※1：ダイアフラム排気口（大気開放側）にはマフラーが取り付いています。

TMP型式について

姿勢自在形 複合分子ポンプ
TG50F	TG70F
TG220F	TG240F
TG350F	TG450F
TG800F	TG1100F
TG1400F	TG2400F
TG2410F
磁気軸受形 複合分子ポンプ
TG390M	TG420M
TG900M	TG1300M
TG2400M	TG3260M
TG3460M
磁気軸受形 コントローラ・電源一体型複合分子ポンプ
kineTiG2200M
油潤滑形 複合分子ポンプ
TG203	TG553
TG1003	TG1303
TG1810/1813
TG2813
TG3213
TG3413
TG5000/5003
TG5500/5503
排気ユニット
STシリーズ
ST-Compactシリーズ

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