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ターボ分子ポンプ排気ユニット STシリーズ

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型　式
ターボ分子ポンプ機種
排気速度 (L/s)  N2
到達圧力   (Pa)   (Torr)
吸気口フランジ
冷却方式
電源
標準機器構成
オプション機器

ST050F	ST220F	ST350F
TG50F	TG220F	TG350F
51(49)※1	220(210)※1	350(330)※1
<3×10-6 <2.3×10-8	<1×10-6 <7.5×10-9
VG65 ISO-R63 CF63	VG100 ISO-R100 CF100
空冷
単相、AC100V
- ターボ分子ポンプ本体 - TMPコントローラ - STコントローラ - 自動スローリーク弁 - 真空配管 - ロータリーポンプ - オイルミストトラップ - アルミ架台
営業担当者までお問合せください。

• ※1：（　）内は保護金網付の排気速度です。
• 標準仕様以外にも、お客様のニーズに合わせた排気ユニットを製作することができます。 詳しくは当社営業担当者までお問合せ下さい。

TMP型式について

姿勢自在形 複合分子ポンプ
TG50F	TG70F
TG220F	TG240F
TG350F	TG450F
TG800F	TG1100F
TG1400F	TG2400F
TG2410F
磁気軸受形 複合分子ポンプ
TG390M	TG420M
TG900M	TG1300M
TG2400M	TG3260M
TG3460M
磁気軸受形 コントローラ・電源一体型複合分子ポンプ
kineTiG2200M
油潤滑形 複合分子ポンプ
TG203	TG553
TG1003	TG1303
TG1810/1813
TG2813
TG3213
TG3413
TG5000/5003
TG5500/5503
排気ユニット
STシリーズ
ST-Compactシリーズ

機　種
ST050FV050	VG65	486	155
ST050FR050	ISO-R63	507	155
ST050FC050	CF63	521	155
ST220FV050	VG100	539	175
ST220FR050	ISO-R100	539	175
ST220FC050	CF100	559	175
ST350FV050	VG100	569	175
ST350FR050	ISO-R100	553	175
ST350FC050	CF100	569	175

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• ※無断転載はご遠慮下さい。掲載内容は通告無しに変更する場合があります。

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