TG-Mシリーズの特長

• 取付姿勢自在：

  取付姿勢が360度自由自在なので、装置設計の自由度が拡大！
  真空チャンバーに直付けできるので、コンダクタンスのロスによる 排気速度の減少がなくなります。

• 低振動：

  アンバランス力補償制御（UFRC:Unbalance Force Rejection Control）機能を搭載し、ポンプ本体の振動を大幅に低減！
  ポンプ本体の振動を１nm以下に抑えた極低振動タイプもラインアップ。（TG-MLシリーズ）

• 完全オイルフリー：

  潤滑剤を使用しないので、よりクリーンなドライ排気を実現！
  半導体や表面分析などより清浄な真空が求められる分野に最適です。

• メンテナンスフリー：

  磁気軸受の採用によりベアリングの磨耗がなく、またオイル（グリス）充填といった日々のメンテナンスの必要がありません。

• 回転数コントロール：

  ローターの回転数をコントロールでき、プロセスに応じた排気性能を実現できます。

• チューニングフリー：

  コントローラが、接続されたポンプを認識し各制御パラメータを自動チューニングします。ケーブル交換を行った際のチューニング作業が必要なくなります。

• メンテナンスコール（保全要求）：

  異常が発生する可能性が生じたときに、警告表示を行い、予防保全を促します。

• 様々な特殊仕様：

  ご用途に合わせて、各種特殊仕様を選択できます。
  • −ケミカル形（クリーンS処理）
  • −反応生成物対策 TG-MIシリーズ
  • −極低振動形 TG-MLシリーズ
  • −超高真空形 TG-MUシリーズ
  • −耐放射線仕様 TG-MRシリーズ

用途

• 半導体製造
• 電子銃排気、イオン源排気
• FPD製造
• 表面処理、表面改質
• 各種電子部品製造
• 分析、試験装置
• 管球製造、光学部品製造
• 加速器、放射線施設、核融合研究
• 熱処理
• 研究開発

ラインアップ