吸気口フランジ

排気速度 (L/s)

N2

(保護金網付) N2

H2

最大圧縮比

N2

H2

到達圧力

(Pa)

(Torr)

最大ガス流量^※1 (sccm)

N2

起動時間 (min)

停止時間 (min)

許容補助圧力 (Pa/Torr)

推奨補助ポンプ (L/min)

取り付け姿勢

質量 (kg)

VG・ISO-R/CF

コントローラ型式

VG100 CF100 ISO-R100
220
210
100
1×10⁸
4×10²
<1×10^-6
<7.5×10^-9
400
1-1.2
2.5-3.5
260/2
≧80
自在
5.5/8
TC223/TC222^※2

VG100
CF100
ISO-R100

220

210

100

1×10⁸

4×10²

<1×10^-6

<7.5×10^-9

400

1-1.2

2.5-3.5

260/2

≧80

自在

5.5/8

TC223/TC222^※2

※1：補助ポンプ容量を160L/minとした場合の許容最大流量
※2：装置組込省スペースタイプ
[ 使用周囲温度 ]
到達圧力保証周囲温度は10～23℃です。又、許容周囲温度は空冷の場合10～32℃、水冷の場合は10～40℃です。到達圧力保証冷却水温は30℃以下で許容冷却水温は10～35℃です。
[ 対応ガス種 ]
吸引ガス種によっては、軸受潤滑グリースや内部部品を劣化させる場合があります。対応ガス種は当社にお問い合わせ下さい。

TMP型式について

姿勢自在形複合分子ポンプ
TG50F	TG70F
TG220F	TG240F
TG350F	TG450F
TG800F	TG1100F
TG1400F	TG2400F
TG2410F

磁気軸受形複合分子ポンプ
TG390M	TG420M
TG900M	TG1300M
TG2400M	TG3260M
TG3460M

磁気軸受形コントローラ・電源一体型複合分子ポンプ
kineTiG2200M

油潤滑形複合分子ポンプ
TG203	TG553
TG1003	TG1303
TG1810/1813
TG2813
TG3213
TG3413
TG5000/5003
TG5500/5503

排気ユニット
STシリーズ
ST-Compactシリーズ


VG100	φ185	15	200
CF100	φ152	21	220
ISO-R100	φ130	12	200


VG100	φ185	15	200
CF100	φ152	21	220
ISO-R100	φ130	12	200

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●吸気口フランジボルト穴は中心線振分。
※無断転載はご遠慮下さい。掲載内容は通告無しに変更する場合があります。

性能比較を行う

Throughput / ガス流量

Volume flow rate for N2 / 排気速度

※無断転載はご遠慮下さい。掲載内容は通告無しに変更する場合があります。

TC223

コントローラ型式	TC223
入力電圧(ACV)	100-110 (±10%) / 200-230 (±10%)
入力周波数(Hz)	50/60
入力相数	単相
最大所要電力(VA)	590
出力周波数(Hz)	800
質量(kg)	2.7
標準付属品	・入力コネクタ：1個・リモートコネクタ：1個・シリアル通信コネクタ：1個・取扱説明書(本体、シリアル通信)：各1部
適用ポンプ機種	TG220F

ターボ分子ポンプ（複合分子ポンプ）排気原理

ターボ分子ポンプは動翼と静翼の多段組合せにより構成されています。翼の傾きと回転方向は下記図に示す関係です。高真空側から飛来した気体分子は、動翼に入射してから離れる際に、色々な方向に向かおうとします。しかしながら、翼の傾きと回転により、後段方向へ、同時に静翼を通過しやすい方向へと向けられます。また後段側から静翼を通過し逆行してきた気体分子も、動翼に触れることで再度後段方向へ向けられます。翼の傾きは、前段側では気体分子が通過しやすい（排気方向の流れと逆流の差が大きい）角度、後段側では気体分子が逆行しにくい（排気方向の流れと逆流の比が大きい）角度を持っています。分子流域においては、この動翼と静翼がターボ分子ポンプの基本的な機能を果します。

当社は、動翼と静翼の組み合わせに「ねじ溝部」を付加しました。円筒状の回転部（ロータ）の壁面に引きずられた気体分子は、やがて固定部（ステータ）のねじ溝に沿うように背圧側へ送られます。このねじ溝作用により、分子流域のみならず、中間流域でも排気可能で、特に中間流域では大流量排気が可能なターボ分子ポンプ（複合分子ポンプ）が完成しました。それにより、ターボ分子ポンプの可動域が広がり、多くの用途に幅広く使われるようになりました。また高背圧でも運転できるため、補助ポンプの選択範囲も広がりました。

排気原理（前段側）
排気原理（後段側）
排気原理（ねじ溝側）

TG220F

Throughput / ガス流量

Volume flow rate for N2 / 排気速度

ターボ分子ポンプ（複合分子ポンプ）排気原理

ターボ分子ポンプ断面図（グリス潤滑玉軸受形）