TG-Fシリーズの特長

• 取付姿勢自由自在：

  取付姿勢が360度自由自在なので、装置設計の自由度が拡大！
  真空チャンバーに直付けできるので、コンダクタンスのロスによる排気速度の減少がなくなります。

• 優れた耐久性：

  独自の軸受構造の採用により、大気突入による急な圧力上昇に強い！
  また、振動にも強く、それを要因とするポンプトラブルやデリケートな運転状況から開放されます。

• 急速ベント停止：

  ベントポートを利用して、エアーブレーキの要領でポンプを急停止させることができます。
  ※一部対応外の機種があります。

• 急速起動：

  立ち上がりが早く、待機時間が短くなります。

• メンテナンスフリー：

  グリース補充の必要が無く、日々のメンテナンスの必要がありません。

用途

• 半導体製造
• 電子銃排気、イオン源排気
• FPD製造
• 表面処理、表面改質
• 各種電子部品製造
• 分析、試験装置
• 管球製造、光学部品製造
• 加速器、放射線施設、核融合研究
• 熱処理
• 研究開発

※腐食性ガスなどを排気する場合は、ケミカル対応のTG-M、TGシリーズをお選びください。

ラインアップ