TGシリーズの特長

• ケミカル対応：

  全クラスでケミカル形をラインアップしており、腐食性ガスの排気に適しています。

• ダストに強い構造：

  ポンプ内部へのダスト混入によるポンプトラブルが少ない。

• 大気突入に強い構造：

  不意の大気突入に強い堅牢設計です。

用途

• 半導体製造
• 電子銃排気、イオン源排気
• FPD製造
• 表面処理、表面改質
• 各種電子部品製造
• 管球製造、光学部品製造
• 加速器、放射線施設、核融合研究
• 熱処理
• 研究開発

※クリーンプロセス向けは TG-Fシリーズをお選び下さい。

ラインアップ