吸気口フランジ	A	B
ISO-B250	348.5	325
VG250	343.5	320

拡大 「拡大」ボタンをクリックするとPDFが表示されます。印刷はPDFから行ってください。

• ※KF50仕様もご用意しております。
• ※無断転載はご遠慮下さい。掲載内容は通告無しに変更する場合があります。

排気速度

ガス流量

• ※無断転載はご遠慮下さい。掲載内容は通告無しに変更する場合があります。

ターボ分子ポンプ（複合分子ポンプ）排気原理

ターボ分子ポンプは動翼と静翼の多段組合せにより構成されています。 翼の傾きと回転方向は下記図に示す関係です。 高真空側から飛来した気体分子は、動翼に入射してから離れる際に、色々な方向に向かおうとします。 しかしながら、翼の傾きと回転により、後段方向へ、同時に静翼を通過しやすい方向へと向けられます。 また後段側から静翼を通過し逆行してきた気体分子も、動翼に触れることで再度後段方向へ向けられます。 翼の傾きは、前段側では気体分子が通過しやすい（排気方向の流れと逆流の差が大きい）角度、後段側では気体分子が逆行しにくい（排気方向の流れと逆流の比が大きい）角度を持っています。 分子流域においては、この動翼と静翼がターボ分子ポンプの基本的な機能を果します。

当社は、動翼と静翼の組み合わせに「ねじ溝部」を付加しました。円筒状の回転部（ロータ）の壁面に引きずられた気体分子は、やがて固定部（ステータ）のねじ溝に沿うように背圧側へ送られます。 このねじ溝作用により、分子流域のみならず、中間流域でも排気可能で、特に中間流域では大流量排気が可能なターボ分子ポンプ（複合分子ポンプ）が完成しました。 それにより、ターボ分子ポンプの可動域が広がり、多くの用途に幅広く使われるようになりました。また高背圧でも運転できるため、補助ポンプの選択範囲も広がりました。

ターボ分子ポンプ断面図（グリス潤滑玉軸受形）