kineTiGシリーズの特長

• コントローラ・電源一体型：

  コントローラと電源ユニットを一体化したコンパクトな設計。
  出力ケーブルや別置きコントローラが無くなり、ケーブルダクトやコントローララックが不要になります。
  面倒なケーブル引き回し作業が無くなり、設置が簡単です。
  装置設計が自由になり、コストダウンに貢献いたします。

• バランスの良い排気性能で、幅広いプロセスに適応：

  広い真空領域で大流量排気が可能。
  優れた到達圧力、高圧縮比。
  補助ポンプと同時起動で、排気時間を短縮ができます。
  ロータ回転数を任意に設定可能（110〜450rps）。
  プロセスに応じて排気能力を調整でき、圧力調整バルブが不要になります。

• 省スペース化、アクセス性の向上：

  各種アクセス部（スイッチ、LED、ケーブル／配管接続部など）を前面に集約し、作業効率改善。
  横、後ろの周囲スペースが削減でき、装置のコンパクト化に貢献いたします。
  メンテナンス時のアクセスも容易です。

• 多様な通信対応：

  複数の通信仕様から選択でき、遠隔操作、複数台制御もできます。
  (Parallel I/O、RS232C、RS485、Profibus、DeviceNet）

• IP54標準対応：

  IP54（防塵・防滴）標準対応で、厳しい環境下でも使用できます。

• TG-Mシリーズの特長も踏襲：

  TG-Mシリーズの特長

用途

• 太陽電池製造装置
• ガラス／レンズ加工
• フィルム加工
• LCD製造装置
• 半導体製造装置
• 加速器／宇宙環境試験装置

ラインアップ