ターボ分子ポンプ（複合分子ポンプ）排気原理

ターボ分子ポンプは動翼と静翼の多段組合せにより構成されています。 翼の傾きと回転方向は下記図に示す関係です。 高真空側から飛来した気体分子は、動翼に入射してから離れる際に、色々な方向に向かおうとします。 しかしながら、翼の傾きと回転により、後段方向へ、同時に静翼を通過しやすい方向へと向けられます。

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ターボ分子ポンプの主なメリット

• オイルフリーの超高真空が得られる。
• 気体分子を機械的に排気（ダイナミック排気）するため、
  すべての気体に対してほぼ同じ排気速度を持っている。
• 希ガスや腐食性ガスの排気が可能。
• 大流量のガスを連続排気することができる。
• 作動圧力領域が広い。（〜10^-10Pa）

大阪真空のターボ分子ポンプラインアップ

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  姿勢自在形複合分子ポンプ TG-Fシリーズ

  グリス潤滑玉軸受を採用し、小型・軽量・低コストを実現しました。 また、耐衝撃性が高く、可搬式装置や装置の可動部へのTMP搭載が可能で、ターボ分子ポンプの新しい可能性を追求したシリーズです。 50L/s 〜 2400L/s クラスまでラインアップしています。
  
  

  TG50F	TG70F	TG220F	TG240F
  TG350F	TG450F	TG800F	TG1100F
  TG1400F	TG2400F	TG2410F

   

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  磁気軸受形複合分子ポンプ TG-Mシリーズ

  磁気軸受採用で完全オイルフリーの排気を得ることができ、 またメンテナンスサイクルが長いのも特長です。 300L/s〜3400L/sクラスまでラインアップしています。
  
  

  TG390M	TG420M	TG900M	TG1300M
  TG2400M	TG3260M	TG3460M

   

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  磁気軸受形複合分子ポンプ
  （コントローラ・電源一体型）
  kineTiGシリーズ

  コントローラと電源ユニットの一体化を実現しました。 出力ケーブルやコントローララックが不要になり、装置の省スペース化が可能となります。 TG-Mシリーズの特長を踏襲し、ロータ設計の最適化により排気性能をさらに向上しました。
  
  

  kineTiG2200M

  kineTiG3300M

   

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  油潤滑複合分子ポンプ TGシリーズ

  油潤滑玉軸受を採用しています。 200L/s〜5500L/sまでの全クラスにケミカル形をラインアップしており、腐食性ガスを排気する用途に対応します。
  
  

  TG203	TG553	TG1003	TG1303
  TG1810/1813	TG2813	TG3213
  TG3413	TG5000/5003	TG5500/5503

   

  
  

• TMP排気ユニット

  

  STシリーズ

  TG-Fシリーズを搭載した TMP排気ユニットです。簡単操作で高真空まで排気でき、またキャスター付なので移動も簡単に行えます。

   

  

  ST-Compactシリーズ

  TG70Fを搭載した卓上サイズの排気ユニットです。設置面積はA４ノートPC程度の省スペース設計で持ち運びも容易なので、研究施設での簡易排気装置として最適です。