ターボ分子ポンプ(複合分子ポンプ)排気原理

ターボ分子ポンプは動翼と静翼の多段組合せにより構成されています。 翼の傾きと回転方向は下記図に示す関係です。 高真空側から飛来した気体分子は、動翼に入射してから離れる際に、色々な方向に向かおうとします。 しかしながら、翼の傾きと回転により、後段方向へ、同時に静翼を通過しやすい方向へと向けられます。

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排気原理(前段側)




ターボ分子ポンプの主なメリット

  • オイルフリーの超高真空が得られる。
  • 気体分子を機械的に排気(ダイナミック排気)するため、
    すべての気体に対してほぼ同じ排気速度を持っている。
  • 希ガスや腐食性ガスの排気が可能。
  • 大流量のガスを連続排気することができる。
  • 作動圧力領域が広い。(~10-10Pa)


大阪真空のターボ分子ポンプラインアップ