特　長

・同クラスドライ真空ポンプの中でもトップクラスの省エネルギー、小型・軽量化を実現しました。

到達圧力時消費電力：400W

設置面積：0.11m2

重量：60kg
 
・用途に応じた製品仕様をご用意しております。

ER100D：軽負荷・クリーンプロセスの排気に最適

ER100DC：耐食性能の高い材質を採用、腐食性ガスの排気に対応

 

用　途

・クリーン排気 ・スパッタ装置粗引き
・TMPなど高真空ポンプの補助ポンプ ・ロードロック室、搬送室排気
・小型実験装置排気 ・吸着搬送システム
・分析・測定装置の排気 ・小型炉排気
・電子銃源、イオン銃源排気  

 

仕　様

型　式 ER100D/ER100DC
吸気口フランジ
KF(NW)50
排気速度
(L/min)
1670
到達圧力
(Pa)
5
到達圧力時消費電力
(W)
400
入力電圧
(V)
200-220
相数
3相
周波数 
(Hz)
50/60
電源容量
(kVA)
3.2
パージガス流量
(Pa m3/s)
17-20
冷却方式
水冷
冷却水量
(L/min)
1.5-3.0
水温
(℃)
Max. 30
質量
(kg)
60
  • [対応ガス種]
    吸引ガス種によっては、内部部品を劣化させる場合があります。
    対応ガス種は当社営業にお問い合わせ下さい。