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磁気軸受形ターボ分子ポンプ
TG907M⁄TG1307M (発売予定)

tg907m tg1307m

tc030m

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磁気軸受形ターボ分子ポンプ用
コントローラ   TC030M (発売予定)

  • 特 長

  • <新機能>
  • 設定パラメータ、稼動データをポンプ本体に蓄積可能
  • シリアル通信プロトコルがRS232C, RS485に加えProfibus, DeviceNetも選択可能
  • 消費電力低減
  • 最新の安全規格(UL/IEC 61010-1 3rd edition)対応
  • 用 途

  • 半導体製造
  • 電子銃排気、イオン源排気
  • FPD製造
  • 表面処理、表面改質
  • 各種電子部品製造
  • 分析、試験装置
  • 管球製造、光学部品製造
  • 加速器、放射線施設、核融合研究
  • 熱処理
  • 研究開発

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コンパクトドライ真空ポンプ DSP50

DSP50
  • 特 長

  • 小型・軽量で容易に搬送可能
    •   ・ タイミングギアレス構造により、軽量化
    •   ・ 重量:9kg
  • ユーティリティーの利便性向上
    •   ・ 必要なユーティリティーは電源のみのため、
        移動が容易であり、設置の自由度が高い。
    •   ・ ガスバラスト機構を標準搭載
    •   ・ DC24V/AC100V入力を選択可能
  • 低振動、低騒音
    •   ・ 騒音値:53dB(A)以下
  • 空冷仕様
    •   ・ 空冷タイプのため冷却水不要
  • 用 途

  • SEM、リソグラフィ
  • 医療装置
  • ロードロック/搬送室排気
  • 分析機器
  • 加速器、イオン源、電子銃排気
  • 一般産業
  • PVD
  • R&D

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