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省エネルギー型真空ポンプ EcopositiV シリーズ
省エネルギーを追求した真空ポンプ EcopositiV シリーズを開発しました。
省エネルギー型ドライ真空ポンプ ER100D/ER100DC
- −低消費電力と小型・軽量を両立したドライ真空ポンプです。
- −装置の省エネ化、コンパクト化に貢献致します。
- −また、お客様の用途に合わせて、クリーン排気に最適な標準型のER100D、耐食性能が高い素材を採用し、腐食性ガスの排気に対応したER100DC、2種類の仕様を選択できます。
省エネルギー型ドライ真空ポンプ ER100D/ER100DC
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省エネルギー型油回転真空ポンプ EP450
- −当社独自の技術によりロータ回転効率を改善し、従来機種と比較して消費電力を最大で30%減少することに成功しました。
- −堅牢かつメンテナンスしやすい構造は従来機種から踏襲しており、適切なメンテナンスをしていただくことで、長期間ご使用いただけます。
■既設のP450も省エネ型に改造できます。
省エネルギー型油回転真空ポンプ EP450
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コントローラ/電源一体型ターボ分子ポンプ kineTiG2200M
特 長
- −コントローラ/電源をポンプに一体化、
ケーブル接続作業、コントローララックが不要
- −広い領域で高い排気性能を発揮
- −多様な通信対応
- −IP54標準対応
- −省電力設計
- −TG-Mの特徴も踏襲
用 途
- −太陽電池製造装置
- −ガラス/レンズ加工装置
- −フィルム加工装置
- −表面加工/表面改質装置
- −LCD製造装置
- −半導体製造装置
- −加速器
- −宇宙環境試験装置
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