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省エネルギー型真空ポンプ EcopositiV シリーズ

省エネルギーを追求した真空ポンプ EcopositiV シリーズを開発しました。


省エネルギー型ドライ真空ポンプ ER100D/ER100DC

  • 低消費電力と小型・軽量を両立したドライ真空ポンプです。
  • 装置の省エネ化、コンパクト化に貢献致します。
  • また、お客様の用途に合わせて、クリーン排気に最適な標準型のER100D、耐食性能が高い素材を採用し、腐食性ガスの排気に対応したER100DC、2種類の仕様を選択できます。
ER100D/ER100DC
省エネルギー型ドライ真空ポンプ ER100D/ER100DC

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省エネルギー型油回転真空ポンプ EP450

  • 当社独自の技術によりロータ回転効率を改善し、従来機種と比較して消費電力を最大で30%減少することに成功しました。
  • 堅牢かつメンテナンスしやすい構造は従来機種から踏襲しており、適切なメンテナンスをしていただくことで、長期間ご使用いただけます。

  • ■既設のP450も省エネ型に改造できます。

EP450
省エネルギー型油回転真空ポンプ EP450

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コントローラ/電源一体型ターボ分子ポンプ kineTiG2200M

  • 特 長

  • コントローラ/電源をポンプに一体化、
    ケーブル接続作業、コントローララックが不要
  • 広い領域で高い排気性能を発揮
  • 多様な通信対応
  • IP54標準対応
  • 省電力設計
  • TG-Mの特徴も踏襲
  • 用 途

  • 太陽電池製造装置
  • ガラス/レンズ加工装置
  • フィルム加工装置
  • 表面加工/表面改質装置
  • LCD製造装置
  • 半導体製造装置
  • 加速器
  • 宇宙環境試験装置
kineTiG2200M

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