小
中
大
ターボ分子ポンプ
| ターボ分子ポンプ（複合ロータ） | ||||
| 吸入口径 | 磁気軸受形 （TG−Mシリーズ） |
磁気軸受形 コントローラ・電源一体型 （kineTiGシリーズ） |
姿勢自在形 （TG−Fシリーズ） |
油潤滑形 （TGシリーズ） |
|---|---|---|---|---|
| 65A |
TG50F TG70F |
|||
| 100A | TG390M |
TG220F TG240F TG350F |
TG203 | |
| 150A |
TG420M TG900M |
TG450F TG800F |
TG553 TG1003 |
|
| 200A | TG1300M |
TG1100F TG1400F |
TG1303 | |
| 250A | TG2400M |
kineTiG2200M kineTiG3300M |
TG2400F TG2410F |
TG1810 TG2813 |
|
300A | TG3260M | TG3213 | ||
| 350A | TG3460M | TG3413 | ||
| 500A |
TG5000 TG5500 |
|||
ターボ/ ドライ/ 油回転/ 液封式/ ルーツ/ エジェクタ/ 油拡散/ システム/ 装置
ドライ真空ポンプ
| ドライ真空ポンプ | ||
| 空冷式シリーズ | EcopositiVシリーズ | コンパクトシリーズ |
| FR060D | ER100D/ER100DC | DSP250/DSP500 |
ターボ/ ドライ/ 油回転/ 液封式/ ルーツ/ エジェクタ/ 油拡散/ システム/ 装置
油回転真空ポンプ
| 油回転真空ポンプ | ||
| Pシリーズ | Kシリーズ | EcopositiVシリーズ |
|
P90 P180 P222 P450 P600 P901 |
K30002 | EP450 |
ターボ/ ドライ/ 油回転/ 液封式/ ルーツ/ エジェクタ/ 油拡散/ システム/ 装置
液封式真空ポンプ
| 液封式真空ポンプ |
| Wシリーズ |
|
W30S W50S W80S W150S/W150AS W310S/W310AS/W310BS W630S/W630AS/W630BS |
ターボ/ ドライ/ 油回転/ 液封式/ ルーツ/ エジェクタ/ 油拡散/ システム/ 装置
ルーツ真空ポンプ
| ルーツ真空ポンプ | ||
| RDシリーズ | RAシリーズ | Rシリーズ |
|
RD302 RD600 RD1200 RD1500/RD1510 RD2500/RD2510 |
RA100 | R6002 R12001 |
ターボ/ ドライ/ 油回転/ 液封式/ ルーツ/ エジェクタ/ 油拡散/ システム/ 装置
エジェクタ
| エジェクタ |
| エジェクタ |
ターボ/ ドライ/ 油回転/ 液封式/ ルーツ/ エジェクタ/ 油拡散/ システム/ 装置
油拡散真空ポンプ
| 油拡散真空ポンプ |
| 油拡散真空ポンプ |
ターボ/ ドライ/ 油回転/ 液封式/ ルーツ/ エジェクタ/ 油拡散/ システム/ 装置
真空システム
| 真空システム |
|
ターボ分子ポンプを使った真空システム ドライ真空ポンプを使った真空システム 油回転真空ポンプを使った真空システム 液封式真空ポンプを使った真空システム ルーツ真空ポンプを使った真空システム エジェクタを使った真空システム |
ターボ/ ドライ/ 油回転/ 液封式/ ルーツ/ エジェクタ/ 油拡散/ システム/ 装置
真空装置
| 真空装置 |
| 真空装置 |
ターボ/ ドライ/ 油回転/ 液封式/ ルーツ/ エジェクタ/ 油拡散/ システム/ 装置
Adobe Flash Playerが必要な方はこちらからダウンロードしてください。
Adobe Readerが必要な方はこちらからダウンロードしてください。
Copyright (C) 2001-2010 Osaka Vacuum, Ltd. All rights reserved.
