真空装置とは

ターボ分子ポンプの開発を始まりとする大阪真空の清浄高真空分野への取り組みは、 理化学研究分野をはじめ、半導体・液晶分野などの発展と共に拡大しています。 当社では、操作性・生産性の高いシステムの提供に努めており、いずれの装置もユーザーのニーズが 充分に反映されたものになっています。

大阪真空の真空装置

• スパッタリング装置
• 蒸着装置
• 真空排気装置
• 薄膜装置
• FPD製造
• 真空環境試験装置

エッチング装置

Vカソードスパッタリング装置

プラズマ発生装置

円筒外面スパッタリング装置

レーザーアブレーション用真空装置