| 1950 | 大阪市浪速区にて会社設立 油回転真空ポンプの生産開始 |
| 1959 | ルーツ真空ポンプの生産開始 |
| 1962 | 堺工場開設 |
| 1971 | 国産初のターボ分子ポンプT650Aを完成(ターボ分子ポンプの国産化により、第1回真空技術賞(1976)を受賞) |
| 1972 | 八王子工場開設 |
| 1980 | 日本最大の脱ガス用蒸気エジェクタ(口径2m)を完成 |
| 1981 | 京都大学へリオトロンEプラズマ実験装置用大型クライオパネルを完成 |
| 1982 | 日本原子力研究所核融合炉JT60用真空設備の製作に着手 |
| 1983 | 複合分子ポンプTG550を完成、引き続きシリーズ化に着手(複合分子ポンプの開発により第10回真空技術賞(1985)、日本機械学会技術賞(1986)を受賞) |
| 1985 | 磁気軸受形複合分子ポンプTG600Mを完成、引き続きシリーズ化に着手 |
| 1988 | 名張工場開設 |
| 1991 | カリフォルニア支店を米国カリフォルニア州サンホゼ市に開設 |
| 1993 | XHV対応磁気軸受形複合分子ポンプTG1121Mで10-10Paを達成(XHV対応磁気軸受形複合分子ポンプの開発により第20回真空技術賞(1995)を受賞) |
| 1996 |
九徳松益股份有限公司(台湾)とTMPの販売及び修理業務に関する代理店契約を締結 ソウル支店を韓国ソウル市に開設 名張工場がISO9002の認証を取得 |
| 1998 | 新元精密工業株式会社(韓国、現・新元技術株式会社)とTMPの修理業務に関する代理店契約を締結 ドライ真空ポンプDSP80を開発 八王子工場がISO9001の認証を取得 |
| 1999 | Sterling SIHI GmbH(ドイツ)とドライ真空ポンプの業務提携に関する契約を締結 姿勢自在形複合分子ポンプTG-Fシリーズを完成 |
| 2000 | 創立50周年を迎える |
| 2001 | 上海欧洒卡真空機器有限公司を中国上海市に設立 反応生成物対応磁気軸受形複合分子ポンプTG-MIシリーズを完成 |
| 2002 | 上海事務所を開設 磁気軸受形複合分子ポンプ・フルデジタルタイプを完成 |
| 2003 | 堺工場がISO9001の認証を取得 |
| 2004 | 極低振動磁気軸受形複合分子ポンプTG-MLシリーズを完成 |
| 2005 | Osaka Vacuum U.S.A.,Inc.設立(U.S.A.カリフォルニア州) 上海欧洒卡真空機器有限公司がISO9001認証取得(0105Q14285R0S/3100) |
| 2006 | ISO14001認証取得(JQA-EM5143) 超高真空形磁気軸受形複合分子ポンプTG-MUシリーズを完成 耐放射線仕様磁気軸受複合分子ポンプTG-MRシリーズを完成 |
| 2007 |
四国大陽日酸株式会社と四国地域における当社製品の販売店・業務委託契約を締結 分析・計測装置向け複合分子ポンプ TG70Fを完成 |
| 2008 | 分析・計測装置向け複合分子ポンプ TG240Fを完成 |
| 2009 | コンパクトドライ真空ポンプ DSPシリーズを完成 |