事業紹介
大阪真空が世界に誇る技術
ターボ分子ポンプ

今や、私たち大阪真空の技術は、放射光・核融合・宇宙開発などに代表される先端の科学技術の分野から、鉄鋼・繊維・化学・エレクトロニクス・半導体・液晶・FPD(フラットパネルディスプレイ)など、活用分野は大幅に拡大しています。 大阪真空は、1971年に日本で初めて「ターボ分子ポンプ(TMP)」の開発に成功。ターボ分子ポンプとは、ジェットエンジンの羽根に似た複数のタービン翼が1秒間に数百回転して真空を作り出す機械式真空ポンプのことをいいます。 ターボ分子ポンプを中心に、その後も、市場のニーズをいち早く取り入れた製品開発を展開し、改良型の複合分子ポンプを世界で初めて開発。後にこれが、半導体製造プロセスにおける標準的な真空ポンプになっていきます。 1986年には、日本の機械工学・工業の発展を奨励することを目的として設けられた、「日本機械学会技術賞」を受賞しました。 ターボ分子ポンプの技術革新は、1980年代から1990年代前半に台頭してきた携帯電話や液晶テレビなどにみられる半導体および液晶産業の景気の牽引力になったと自負しています。 また、優れた技術力と実績を背景に、多様な製品ラインアップで、お客様のニーズに合わせたカスタマイズ化にもお応えしています。

姿勢自在形ターボ分子ポンプ
姿勢自在形ターボ分子ポンプ
磁気軸受形ターボ分子ポンプ
磁気軸受形ターボ分子ポンプ
反応生成物対応磁気軸受形ターボ分子ポンプ
反応生成物対応磁気軸受形ターボ分子ポンプ
TG70F
計測機器向けターボ分子ポンプ
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お客様に満足していただけるために
最高の技術を最高のカタチで届ける

大阪真空の代表的な製品である「ターボ分子ポンプ(TMP)」は、
パソコンやデジタルカメラなど、半導体やFPD産業で広く活用されています。

納入先とユーザーの関係
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時代と共に培った信頼と技術
ターボ分子ポンプとの歩み

大阪真空は、真空技術の国産化を目的に1950年に設立。
繊維産業界で大阪真空の製品が数多く使われ出したことが企業成長の原点でした。
1971年には国産化第一号となる、ターボ分子ポンプT650を完成(ターボ分子ポンプの国産化により、第1回真空技術賞(1976)を受賞)。わが国における真空技術の先駆けとしてつねに新しい分野に挑戦してまいりました。
世界規模で見ても、極高真空ポンプから極低振動軸受形複合分子ポンプまで、幅広く多彩な真空ポンプを開発しているのは、大阪真空を含め数社しかありません。

大阪真空の強みは、超高真空、高速回転、流体技術がベースであること。そして、信頼性の高い堅牢な設計を土台に、お客様の期待する性能を追求すること。また、トータルコストの低減など、それら高度な技術力で国内のみならず海外にまで市場を開拓しています。
戦後、経済発展を支えてきた繊維や鉄鋼、そして半導体…。
そのどれもに真空技術が関わり、そのどれもに大阪真空があったといっても言い過ぎではないかもしれません。
めまぐるしく変わる時代、創立から半世紀を超えてもなお、真空技術とともに大阪真空は着実に前進していきます。

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