涡轮分子泵(复合分子泵) 排气原理

涡轮分子泵由多层转子叶片和定子叶片组成。 下图所示的是叶片的角度以及旋转方向的关系 气体分子从高真空侧进入泵内,附着于转子叶片后将按照麦克斯韦分布朝不同方向脱离。 然而,由于叶片的倾斜角度和旋转,分子飞入下一层,并且容易穿过定子叶片再向下。

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排气原理(前段側)




涡轮分子泵的主要特点

  • 无油的超真空环境
  • 机械式的气体分子排气(动态排气),对所有的气体的排气速度大致相同
  • 可排稀有气体和腐蚀性气体
  • 可连续排大流量气体
  • 可工作的压力范围宽。(~10-10Pa)


大阪真空的涡轮分子泵