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磁悬浮复合分子泵 TG397M⁄TG427M

tg397m tg427m
  • 特 点

  • <新功能>
  • 参数以及数据可以存到真空泵泵体
  • 串口通讯接口可选择RS232C,RS485以及Profibus,DeviceNet
  • 耗电量低
  • 对应最新版安全规格(UL/IEC 61010-1 3rd edition)
  • 用 途

  • 半导体制造
  • 电子枪排气,离子源排气
  • FPD制造
  • 表面处理,表面改质
  • 各种电子部件的制造
  • 分析,试验装置
  • 管球制造,光学部件制造
  • 热处理
  • 研究开发

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